Zunächst muss man das Einschalten über PCIe im BIOS erlauben.
Dann im Treiber der Netzwerkkarte (auf Windows: Device Manager > Network Adapters > Atheros … > Properties > Advanced) „Shutdown Wake Up“ aktivieren und „Wake Up Capabilities“ auf „Magic Packet“ setzen. Dann klappts, zumindest bei mir 🙂
Leider habe ich keine Ahnung wie man das auf anderen Systemen anstellt…